医療・分析機器用電磁弁


高精度比例制御電磁弁プレシフロー

ガスクロマトグラフ等分析装置のガス流量自動制御に最適!

プレシフローなら、小形・軽量でも高精度制御が可能。
オープンループで手軽に空気・ガスの高精度な比例制御ができ、比例制御ラインの省スペース化とコスト削減を実現!

マスフローコントローラの代替にもご検討ください。

 

2つのフラットスプリング(紺色)でコア(グレー)を浮かせて動かすため、摩擦のないスムーズな作動、長寿命化が実現。
     
 

コンパクトなカートリッジタイプもご用意しております。

デモ機の貸し出しも行っております。お気軽にお問い合わせ下さい。


特長

  • 1NL/min レベルの微小流量制御が可能
  • オープンループでヒステリシス3%以下、再現性・感度1%以下の高精度
  • 10-8Pa レベルの真空制御に対応可能(オプション)
  • コンパクトで長寿命。
  • 低消費電力で圧力、流量確保が可能なタイプもあり
    (お問い合わせください)。
プレシフローシリーズ グラフ

用途例

  • 塗装機械のエア制御
  • 半導体の真空蒸着装置
  • 酸素濃縮器
  • ガスクロマトグラフ等分析装置のガス流量自動制御
  • 比例制御弁用途例へ

製品仕様

種類 M5, G1/8 19mmカートリッジ
作動・タイプ 直動形2方向比例制御弁
制御流体 空気・ガス
配管口径 M5, G1/8 直径7.5mm(カートリッジ)
Cv値 0.0003~0.011 0.0003 ~ 0.032
ボディ材質 ブラス、PVDF ステンレススチール
シール材 FPM FPM(EPDM, FFPMはお問い合わせください)
比例制御特性

ヒステリシス:<3%
再現性:<1%
感度:<1%

ヒステリシス:<5%
再現性:<1%
感度:<1%

注)カタログの内容は予告なく変更する場合があります。最新の製品仕様につきましては、ご注文時に改めてご確認ください。

プレシフローシリーズ

タイトル シリーズ DL
比例制御電磁弁プレシフロー 直動形・常時形(空気・ガス専用)M5、G1/8express 202
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比例制御電磁弁プレシフロー 19mmカートリッジ 直動形、常時閉形(空気・ガス) 202 pdf

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