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製品紹介
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ガスクロマトグラフ等分析装置のガス流量自動制御に最適！ | |
プレシフローなら、小形・軽量でも高精度制御が可能。 マスフローコントローラの代替にもご検討ください。 |
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2つのフラットスプリング(紺色)でコア(グレー)を浮かせて動かすため、摩擦のないスムーズな作動、長寿命化が実現。 | |
デモ機の貸し出しも行っております。お気軽にお問い合わせ下さい。
特長
- 1NL/min レベルの微小流量制御が可能
- オープンループでヒステリシス3％以下、再現性・感度1％以下の高精度
- 10-8Pa レベルの真空制御に対応可能(オプション)
- コンパクトで長寿命。
用途例
- 塗装機械のエア制御
- 半導体の真空蒸着装置
- 酸素濃縮器
- ガスクロマトグラフ等分析装置のガス流量自動制御
- 比例制御弁用途例へ
製品仕様
| 作動・タイプ | 直動形2方向比例制御弁 |
|---|---|
| 制御流体 | 空気・ガス |
| 配管口径 | M5, G1/8 |
| Cv値 | 0.0003～0.011 |
| ボディ材質 | ブラス、PVDF |
| シール材 | FPM |
| 比例制御特性 |
ヒステリシス：＜3% |
注）カタログの内容は予告なく変更する場合があります。最新の製品仕様につきましては、ご注文時に改めてご確認ください。
プレシフローシリーズ
| タイトル | シリーズ | DL |
|---|---|---|
| 比例制御電磁弁プレシフロー 直動形・常時閉形（空気・ガス専用）M5、G1/8 | 202 |
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